预真空：应排除灭菌室和负载中的空气，预真空度的大小决定残留空气的多少，而残留空气可直接影响环氧乙烷气体、热量、湿气到达被灭菌物品的内部，所以加湿前的真空度对灭菌效果影响是非常大的。保压：真空度维持稳定、无泄漏。加湿：灭菌物品的含水量、微生物本身的干燥程度和灭菌环境的相对湿度，对环氧乙烷的灭菌作用均有显著的影响。EO环氧乙烷灭菌在抽真空后、加药前，此时灭菌器内的湿度应控制30%RH～80%RH范围内。在环氧乙烷灭菌工艺中，湿度是主要的参数。福州环氧乙烷灭菌设备在实际灭菌时，被灭菌物品常常用纸或塑料薄膜、纸盒等包装，灭菌过程中一部分水分和环氧乙烷被包装物吸收，因此必须根据灭菌物品及包装物的湿度和吸收情况来选择合适的相对湿度，通常选择60%±10%的相对湿度。

迄今为止，所有资料显示环氧乙烷EO灭菌作用是不可逆的，也就是说环氧乙烷EO是杀菌剂(sterileagent)而不是消毒剂(disinfectant)。根据各种临床、科研结果显示环氧乙烷EO是所有化学消毒剂或灭菌剂中灭菌效果好的一种。应用范围：环氧乙烷不能用于食品的消毒，环氧乙烷水解后，可产生少量有毒的乙二醇，也不能用于血液灭菌，冈为它可导致细胞溶解，补体灭活和凝血酶破坏。环氧乙烷不损害灭菌的物品且穿透性很强，多数不宜用一般方法灭菌的物品均可用环氧乙烷消毒和灭菌。可用于金属制品、内镜、透析器和一次性使用的医疗器械的灭菌，各种织物、塑料制品等工业消毒灭菌，传染病疫源地物品(如化纤织物、皮革、纸张、文件、油画)消毒处理。

环氧乙烷对物品损坏小，由于环氧乙烷杀灭微生物是利用烷基化原理而非氧化过程，因此对物品损坏非常小，对不耐热仪器的灭菌有着非常广泛的应用。环氧乙烷灭菌工艺相比辐照灭菌、蒸汽消毒、混合气体消毒、辐照消毒等更安全。在灭菌设备验证中发现，国内制药行业在设备的验证过程中只注重热分布实验、热穿透实验、生物挑战实验，而忽略了其他一些会影响测量准确度的因素。验证的间隔通常选择1年为一个周期，使某些重要过程存在一定风险，一般过程验证的频繁验性会增加了验证成本。仪器仪表灭菌温度验证中容易忽略的几个因素进行了初步分析，并对验证方案的设计和结果的处理进行了基本的阐述。

灭菌物品是指物品中不含任何活的微生物。然而，对于任何一批灭菌产品来说，无菌是既无法保证也无法被用试验来证实的，因为不可能对每一小包装的产品进行无菌试验。在事实上，物理或化学灭菌方法手段灭菌试验表明：微生物的杀灭曲线遵循对数规则，因此，所以，批已灭菌物品的无菌性标准一般在概率意义上定义为污染单位低到可接受的程度，一般用以物品灭菌后微生物存活的概率-无菌保证值水平SAL表示。灭菌法系指用适当的物理或化学手段将物品中活的微生物杀灭或除去的方法。工艺适用于无菌、灭菌制剂、原料、辅料及医疗器械等生产过程中物品的灭菌。灭菌处理产品微生物存活的概率的无菌保证值一般不得低于高于10-6，即灭菌后微生物存活的概率不得大于百万分之一。