环氧乙烷对物品损坏小，由于环氧乙烷杀灭微生物是利用烷基化原理而非氧化过程，因此对物品损坏非常小，对不耐热仪器的灭菌有着非常广泛的应用。环氧乙烷灭菌工艺相比辐照灭菌、蒸汽消毒、混合气体消毒、辐照消毒等更安全。在灭菌设备验证中发现，国内制药行业在设备的验证过程中只注重热分布实验、热穿透实验、生物挑战实验，而忽略了其他一些会影响测量准确度的因素。验证的间隔通常选择1年为一个周期，使某些重要过程存在一定风险，一般过程验证的频繁验性会增加了验证成本。仪器仪表灭菌温度验证中容易忽略的几个因素进行了初步分析，并对验证方案的设计和结果的处理进行了基本的阐述。

环氧乙烷灭菌流程步骤：装载--加热--保温--预真空--保压--加湿--加药--灭菌--清洗--解析。装载：被灭菌物质在灭菌室的包装形式、摆放位置--主要影响环氧乙烷的穿透性、环氧乙烷在灭菌室内的气体循环性、室内温度湿度分布的均匀性。装载量通常小于80%。加热：灭菌室应被加热至预设定温度，通常温度范围在30~65℃。专业环氧乙烷验证在此范围内，随着温度的升高，环氧乙烷的杀菌作用加强，同时也能增强其穿透力和缩短灭菌作用的时间。但是当温度高到足以使药物发挥作用时，再升高温度，则杀菌作用亦不再加强。成都环氧乙烷验证原理通常选择的温度是54°C±10°C。保温：目的是维持灭菌室内的温度稳定，通过温度传感器确认灭菌室内温度符合要求（传感器的位置，通常为灭菌室内极限位置）。

环氧乙烷灭菌器装载灭菌物品时，应始终使用装载篮或架子。不要超载。整理装载篮里的物品，确保水蒸气和EtO在物品间流通顺利。竖放。摆放包裹，使一个纸塑袋的透明面对着相邻袋子的不透明面。确保器械不接触灭菌腔的四壁。为了加强实用性，将相同通风解析时间的物品进行满载灭菌。满载可以是灭菌袋、包裹、硬质容器，或由不同包装类型组成。满载的定义是在灭菌单元内，在不阻碍空气排除、装载加湿、灭菌因子穿透和解析条件下的装载数量。在美国，环境保护总署（EPA）有医用环氧乙烷灭菌器排放国家标准要求，对没有空气污染控制设备的医院要按满载运行管理，除了医疗需要时。记录所有EtO灭菌器的循环日期和时间，标注任何一次由于医疗需要而没有进行满载灭菌的事件。

在化妆用品生产过程中常常要对原材料，工具，包装物等进行外表消毒，常常使用消毒柜，传递窗等，传统的方法是用紫外线消毒，问题主要是消毒不彻底，所以若使用在比如传递窗等要求不高的场合是能够的，但远不如臭氧的作用好。《消毒技术规范》中详细讲述，对于浸没在臭氧气体中的物体外表，接触一段时间，可将外表细菌杀死。化妆品工业洁净室与其他工业洁净室有所不同，特别是无菌生产制剂及原料药品生产，不仅要控制空气中一般悬浮状态的气溶胶粒子，还要控制或微生物数，既提供“无菌药品”生产所必须的相应空气洁净度环境（无菌室）。对化妆品消毒器高效彻底：工作时产生一定量的臭氧。在相对密闭的环境下，扩散均匀，包容性好，克服了紫外线杀菌存在诸多死角的固有缺点。